发布日期：2024-06-23 14:20 点击次数：192
本站音问，字据企查查数据透露中微公司（688012）新取得一项发明专利授权，专利名为“等离子体解决装配偏激旯旮气体组件”，专利央求号为CN202010618286.5，授权日为2024年5月14日。
专利纲领：一种等离子体解决装配偏激旯旮气体组件，其中，等离子体解决装配包括：真空反映腔，其包括顶盖，所述顶盖具有指挥顶盖的启齿，真空反映腔内底部具有基座，所述基座用于承载待解决基片；安装基板，位于所述启齿内；气体喷淋头，位于所述安装基板的下方，所述气体喷淋头与基座相对配置；旯旮气体组件，环绕于所述气体喷淋头的外围，包括至少两个彼此破损的旯旮气体救济区，每个所述旯旮气体救济区配置进气通说念和出气通说念，所述出气通说念朝向待解决基片的旯旮区域；气体源，用于向所述旯旮气体救济区运输气体，且各个旯旮气体救济区的气体运输情况均沉寂可控。所述等离子体解决装配能救济待解决基片旯旮区域等离子体的浓度漫步。
本年以来中微公司新取得专利授权66个，较客岁同时增多了4.76%。集结公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面插足了8.17亿元，同比增34.91%。
数据着手：企查查
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